クリーンルームの地震対策

半導体工場では、天井裏や床下ピットの工事を行っているため、地震の影響を受けやすい構造といえます。過去の震災でも、停電が長引き、クリーンルームが稼働できず、復旧に多くの時間を要した事例が報告^※されていました。

特に、余震が続く状況では設備の再立ち上げが困難となり、一度復旧しても振動によるダメージで再び操業を停止するケースが多発。

長期間の停止により外気が流入し、で清浄度が低下した場合、製造環境を元の状態に戻すためには繰り返し清掃を行い、清浄度が回復できたかを厳重に確認する必要があります。

設計通りの清浄空間が復帰できたかを確認するまでは長い時間を要するため、その間の生産の遅れやコスト増加は避けられません。地震発生時の被害は単なる設備損傷にとどまらず、クリーン環境の維持にも深刻な影響を及ぼします。

東日本大震災では、多くの半導体工場が操業停止に追い込まれました。特に、建屋の損壊や設備の脱落が発生し、復旧には数カ月を要した工場もありました。国内有数の半導体工場ではクリーンルームが破損し、大規模な修復が必要となったことが報告^※されています。

さらに、停電の影響も深刻で、計画停電や電力供給の不安定さが復旧作業の妨げとなりました。

これらの事例からも、地震被害を最小限に抑えるための対策が不可欠であることがわかります。

クリーンルームでは、フィルターや照明、配管などを天井に集約する「システム天井」が採用されていることが多いです。

これはクリーン環境を維持する上で重要ですが、地震時には大きなリスクとなります。 システム天井は固定されてはいますが、強い揺れによって落下することもあります。

FFU等の重量物が落下すると、クリーンルーム内に配置された精密機器を破損させ、生産設備が停止することもあります。作業者の安全も脅かされ、被害が拡大する恐れがあります。

また、天井崩落によって復旧作業が長期化し、生産再開までの時間が大幅に延びる可能性があります。 しかし、適切な耐震補強を施せば、天井の落下リスクを低減できます。これにより、精密機器の破損を防ぎ、生産の停止を最小限に抑えることが可能です。