クリーンブースの清浄度が足りない場合
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記事更新日 2025年07月11日
クリーンルームの清浄度を高めるには、大規模な改修が必要と思われがちですが、局所的な清浄化を活用すれば抑えながら実現することが可能です。
このページでは、必要なエリアだけを効率的に清浄化し、投資対効果を最大化する方法を紹介します。
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クリーンルーム全体を改修せずとも、限定的な空間に対して清浄度を強化するアプローチは十分に可能です。
局所的な清浄化であれば、コストや工期を抑制しつつ、歩留まりや製品品質の改善が期待できます。
局所クリーンブースやクリーンベンチを導入すれば、クリーンルーム全体を大がかりに改修せずとも、必要な作業エリアだけの清浄度を向上できます。
また、比較的小規模な設置で済むため、導入コストやメンテナンス負担も抑えられ、今すぐ対策を行いたい現場でも実践しやすい点が大きな魅力です。
ただ、クリーンベンチは作業性が低いというデメリットがあります。
静電気は微粒子を引き寄せる大きな要因であり、半導体や電子部品の製造工程では特に注意が必要です。
局所的な清浄度向上を図る際も、作業台や床を導電性素材に変えたり、除電イオナイザーを設置するなどの対策を徹底することで、微粒子の付着リスクを抑えられます。
また、帯電を未然に防ぐためには、作業者の衣服や動線の管理も重要となります。
特にISOクラスの高い環境を目指す場合は、人の動きによる発じんが顕著に影響するため、静電気防止の取り組みがクリーン度を維持するカギとなるでしょう。
床に導電マットを敷く、作業者にリストストラップを着用させる、定期的に帯電量を測定するなどにより、トラブルを未然に防ぐ必要があります。
ここまで紹介してきたような局所清浄化の対策は、比較的導入しやすい一方で、作業性の制限や気流の乱れ、発じんへの脆弱さなど、十分な効果が得られにくいケースも少なくありません。
また、一般的なクリーンベンチのような囲い込み型の構造では、作業中の清浄度が安定しづらい、複数人作業が難しいといった運用面での課題も残ります。
こうした背景から、もっと根本的に作業性と清浄度を両立できる、開放型かつ高性能な清浄化手段を検討したいというニーズが高まっています。
次にご紹介するのは、そういった現場のニーズに応える、新しい選択肢です。
ISOクラス1と作業性を両立
対向気流技術を活用した
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「KOACH」は、独自の対向気流技術によって囲いを設けなくても高い清浄度を維持できる装置です。
従来のクリーンベンチやクリーンブースのように作業空間を密閉しないため、作業者の動きを制限せず、生産効率の向上とクラスアップを両立させます。
代表的な製品として、広いエリアをカバーできるスタンドコーチ（動画）と、手元作業に適したテーブルコーチ（写真）の2タイプがあります。
| 項目 | スタンドコーチ | テーブルコーチ |
|---|---|---|
| 適した用途 | 大型装置・広範囲作業の 清浄化 |
精密作業・手元のクリーン化 |
| 作業エリアの広さ | 広範囲（～2300mm） | 狭め（～700mm程度） |
| クリーン度 | ISOクラス1 | ISOクラス1 |
| 作業人数 | 複数人（最大4人）での作業も可能 | 1～2人用（小規模作業向け） |
| 設置方式 | 独立型（床置き） | 卓上設置型（作業台上に設置） |
| 移設のしやすさ | 比較的容易（キャスター付き） | 持ち運び可能で設置が簡単 柔軟に移動可能 |
スタンドコーチは、大型装置やウェーハ搬送エリアなど、広い作業スペースを要する現場に非常に有効です。
幅は2300mmまでをカバーし、向かい合って作業もできるため、複数人での組立や検査にも対応。
クリーンルーム全体を改修せずにISOクラス1レベルを導入でき、工程停止リスクを抑えながら作業効率を高められます。
一方、テーブルコーチは顕微鏡検査や微細組立など、精密な手元作業に適した製品です。
従来のクリーンベンチより開放的で、微粒子対策を強化しながらも作業性を損ないません。
1～2人用の小規模エリアを的確にクリーン化し、コンタミリスクを最小限に抑えられます。
広範囲の作業エリアが必要ならスタンドコーチ、手元の精密作業を重視するならテーブルコーチ。この使い分けで、コストを抑えつつ、高い清浄度を実現できるでしょう。
| 項目 | 他のソリューション （一般的なブース・ベンチ） |
スタンドコーチ | テーブルコーチ |
|---|---|---|---|
| 作業エリアの広さ |
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| クリーン度 (ISOクラス) |
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| 作業人数 |
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| 設置方法 |
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| 移設のしやすさ |
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一般的なクリーンブース・クリーンベンチは、密閉空間を確保しやすい反面、作業スペースが制限されるという面があり、大規模なブースでは設備の解体や再施工が必要なため、レイアウト変更やメンテナンス時の負担が大きくなりがちです。
対してスタンドコーチは、複数人作業や大型装置周辺の広範囲をオープン構造でカバーでき、キャスター付きのため配置替えが容易です。
一方のテーブルコーチは、小スペースの個別作業や精密作業に特化し、卓上設置だけで運用できるため、顕微鏡検査や微細部品の組立にも適しています。
どちらも周囲を囲わない分、作業者が動きやすく、ラインの柔軟性を維持したまま高いクリーン度を確保できる点が大きな特徴です。
当社では顧客から寄せられたさらなる品質向上の要請に対応すべく、社内で清浄度強化を目的としたプロジェクトが発足しました。
従来のクリーンルームやクリーンブースでは、作業者への物理的制約やオペレーション効率の低下が課題となっており、環境改善の必要性が高まっていました。
プロジェクト検討の中で、ショールームにてKOACH実機を確認。スイッチを投入後、約30秒でパーティクルカウンターの測定値がゼロに到達する様子を目の当たりにし、開放型構造でも高い清浄度が実現できることに強い印象を受けました。
導入後は、独自の気流制御によって微粒子の再付着を抑制し、作業中の清浄度も安定化。
これにより、作業性と環境制御性能の両立が可能となり、製造現場全体の品質マネジメントレベルが一段と引き上げられました。
電子部品および半導体向けの表面処理薬品を製造していますが、需要の増加に伴い、新たな製造棟の整備を進める必要に迫られました。
従来のISOクラスでは清浄度要件を満たしきれず、より高度な環境制御が求められる状況となっていました。
そのような中、展示会「ネプコンジャパン」でKOACHを知り、実機による検証を実施。その場で0.1μmの微粒子がゼロに抑えられていることをパーティクルカウンターで確認し、開放型でもISOクラス1の清浄度が可能である点に着目しました。
導入以降は、従来のクリーンルームと比較して、短時間で安定したクリーン環境を立ち上げることが可能となり、薬品の品質向上とともに製造工程の信頼性も向上しています。
また、空調設備の負荷軽減やフィルター交換頻度の低減により、電力消費とメンテナンスコストの両面で効率化が進みました。
導入後はクリーン度・省エネ・運用性のバランスが最適化され、生産性向上に貢献しています。
この事例の企業名や写真、より詳しい導入経緯・成果は、KOACHの会員サイトで確認することができます。
クリーンルーム全体の清浄度をワンランク上げようとする場合、空調設備やフィルターの大規模な更新、気流解析に基づく設計変更、人員の動線管理など、包括的な対策が必要になります。
ISOクラスを大幅に引き上げるとなると、FFUの増設やULPAフィルターへの交換など膨大なコストや工期を伴うため、事前にROI（投資対効果）の検討が欠かせません。
一方で、全体改修を最小限に抑えつつ、局所ブースやKOACHの導入を組み合わせれば、コストを抑えながらも品質と歩留まりを改善できます。
最終的には、自社の製品特性や製造工程にあわせて「全体の最適化」と「局所的な清浄化」を柔軟に選択することが、効果的かつ現実的なアプローチといえるでしょう。
半導体製造は、日本の地域経済の活性化に大きく貢献する重要な産業です。しかし近年では、原材料価格の高騰や光熱費の増加、さらに円安の影響により、各企業の努力だけでは乗り越えられない厳しい状況が続いています。
私たちのメディアは、こうした課題に対して有効なソリューションである「KOACH」の魅力や価値を、より多くの方々に届けることを目的としています。KOACHの認知拡大と導入促進を通じて、業界全体の変革と地域経済のさらなる発展に貢献していきます。