クリーンルームのランニングコストを抑えたい
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記事更新日 2026年02月25日
クリーンルーム・クリーンブースのランニングコストは、電力消費やメンテナンス費用が大きな負担となりますが、効率的な空調管理や局所清浄化のシステムを導入することで、コスト削減も可能です。
このページでは、清浄度を維持しつつ、運用コストを抑える方法ご紹介します。
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クリーンルームの電力コストは、空調システム（HVAC）やファンフィルターユニット（FFU）が24時間稼働することで高額になりがちです。
特に半導体製造工場では、クリーンルームの空調設備が工場全体のエネルギー消費の45%を占めるケース（※1）もあります。
電力コストが高額になる主な理由は次の通りです。
これらの課題を解決するには、局所クリーン化を導入し、必要な作業エリアのみを高い清浄度に保つことでFFUの稼働台数を減らし、電力消費を抑える方法があります。
また、高効率な空調設備を導入し、ファンインバーターの周波数を適切に調整することで消費電力を削減できます。
エネルギーマネジメントシステム（EMS）を活用すれば空調負荷を最適化し、HVACの電力コストを10%削減（※2）が可能。
これらの対策により、運用の効率化が可能になります。
クリーンルームのメンテナンスコストは、次のような設備の維持管理に関わる費用が含まれます。
メンテナンスコストを削減する方法として、圧力損失モニタリングを導入し、HEPA/ULPAフィルターの交換時期を最適化することが挙げられます。
これにより、無駄な交換を防ぎ、コストを20～40%削減できます。
各種対策を講じていても、なお上昇し続ける電力コストに対しては抜本的な解決策が見出せず、限界を感じているなら、 ぜひご注目したい、実効性のあるソリューションがあります。
クラス1・100㎡でドライヤー3台分の省電力
電気代が1/10以下になったケースも
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KOACHは、独自の対向気流方式とナノファイバーフィルター採用によって、ISOクラス1という高い清浄度を維持しながらも、消費電力は従来比約70%以下という省エネを実現。スリープモードも搭載されており、夜間使用しないときの消費電力を大幅に低減します。
KOACHを導入した企業では、消費電力1/10以下・電気代が年間700万円削減されたケースもあります。
メンテナンスについては、前処理フィルターは2年に1度、メインフィルターは5年に1度の交換のみで、その交換も誰でもできる簡単な仕様のため、メンテナンスコストの削減も実現可能。
このような省エネ性能とメンテナンス性を、ISOクラス1という最高水準の清浄度環境下で実現できる点こそが、KOACHの最大の特長です。
液晶パネル製造において新たなクリーンルームの建設が必要になりました。
しかし、既存のクリーンルームでは対応できず、新設するには高コストがかかるため、フロアーコーチの導入を決定しました。
その結果、24時間連続稼働しても消費電力量が従来の1/10に削減。
フロアーコーチはISOクラス1のクリーン環境を形成しながらも、1台あたりの消費電力が約200Wと非常に低く、夜間稼働しないときにはスリープモードを活用することでさらなる省エネが実現しました。
当研究所では、研究において微細なコンタミナント粒子が問題となっていました。既存のクリーンルームでは、一桁ナノサイズの粒子を十分に除去できず、欠陥対策が困難でした。
KOACHを導入したことで、一桁ナノサイズのコンタミナント対策が実現。従来のクリーンルームでは困難だったナノスケールの清浄環境を提供し、欠陥発生率を1/100に削減できました。
また、従来のクリーンルームの年間電力コストが約200万円だったのに対し、KOACH導入後は年間25万円にまで減少しました。
欠陥発生率・コスト削減ともに大幅に貢献しています。
新たなクリーンルームを本社工場内に設置する計画のため、従来のクリーンルームと比較検討を進める中で、東北大学の推薦を受け、KOACHを導入することに決定しました。
従来型クリーンルームでは、内部で発じんすると清浄度を回復するまでに時間がかかるという課題がありました。
一方、KOACHは方向と速度が均一な気流を供給し、汚染物質を素早く排出するため、作業中も清浄度を維持できる点が評価されています。
加えて、KOACHは短時間でクリーン化が可能なため、週末や長時間の無作業時には運転を停止できることも大きな利点です。
この運用により電力消費を大幅に削減し、従来の24時間稼働型クリーンルームと比べて運用コストを大幅に低減できました。さらに、フィルター寿命が長く、交換作業も容易であるため、メンテナンスコストや業務負担の削減にも貢献しています。
この事例の企業名や写真、より詳しい導入経緯・成果は、KOACHの会員サイトで確認することができます。
半導体製造は、日本の地域経済の活性化に大きく貢献する重要な産業です。しかし近年では、原材料価格の高騰や光熱費の増加、さらに円安の影響により、各企業の努力だけでは乗り越えられない厳しい状況が続いています。
私たちのメディアは、こうした課題に対して有効なソリューションである「KOACH」の魅力や価値を、より多くの方々に届けることを目的としています。KOACHの認知拡大と導入促進を通じて、業界全体の変革と地域経済のさらなる発展に貢献していきます。